R4000.A-10 R4000.A-20 R4000.A-30十字扭簧軸承
C-FLEX自由彈性轉(zhuǎn)軸對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)至關(guān)重要
自由彈性轉(zhuǎn)軸:對(duì)半導(dǎo)體至關(guān)重要
半導(dǎo)體工業(yè)多年來(lái)一直在使用自由FECT-轉(zhuǎn)軸,以促進(jìn)光刻制造的晶圓和集成電路的生產(chǎn)。隨著技術(shù)的進(jìn)步和新的制造方法的出現(xiàn),還必須調(diào)整設(shè)備以提高速度和準(zhǔn)確性。
在晶圓的生產(chǎn)過(guò)程中,有許多步驟是從創(chuàng)造、加工、掩蔽和檢查開始的。這些過(guò)程使用了許多不同的技術(shù),需要傳感器、鏡子和光束的精細(xì)運(yùn)動(dòng)和高頻振蕩。
"自由活動(dòng)"是一種特別適合于這類任務(wù)的緊湊和現(xiàn)成的裝置,除其他外,提供下列好處:
無(wú)維護(hù)操作的無(wú)限壽命
適合清潔房間和真空環(huán)境
會(huì)以高速振蕩
自然順從彈性吸收小振動(dòng)
C-FLEX雙頭軸承（字母型號(hào)的品牌為美國(guó)C-FLEX，數(shù)字型號(hào)的品牌為美國(guó)*********）
型號(hào) 直徑（英寸）
±0.0005 扭力彈簧剛度 (1) 負(fù)載 (2) Lc 負(fù)載 (2) Lt A
±.003 C min
±.003 D min
+0.005
-0.015
AD-10
6004-800 1/8 0.0003
0.0002 2.3
2.2 4.6
4.7 0.2 0.039
0.045 0.07
0.085
AD-20
6004-600 1/8 0.0018
0.0017 17.5
17.7 25.0
25.0 0.2 0.038
0.045 0.070
0.085
AD-30
6004-400 1/8 0.0148
0.0140 28.0
28.0 28.0
28.0 0.2 0.038
0.045 0.070
0.085
BD-10
6005-800 5/32 0.0004
0.0004 3.5
3.5 7.0
7.4 0.25 0.050
0.057 0.100
0.110
BD-20
6005-600 5/32 0.0037
0.0035 28.0
27.6 40.88
39.0 0.25 0.050
0.057 0.100
0.110
BD-30
6005-400 5/32 0.0296
0.0279 45.0
44.0 45.0
44.0 0.25 0.050
0.057 0.100
0.110
CD-10
6006-800 3/16 0.0007
0.0007 5.0
4.9 10.0
9.0 0.3 0.060
0.067 0.120
0.130
CD-20
6006-600 3/16 0.006
0.0057 40.0
39.6 60.0
56.0 0.3 0.060
0.067 0.120
0.130
CD-30
6006-400 3/16 0.0482
0.0473 63.0
63.0 63.0
63.0 0.3 0.060
0.067 0.120
0.130
DD-10
6008-800 1/4 0.0018
0.0018 9.0
8.5 18.0
19.0 0.4 0.083
0.090 0.165
0.175
DD-20
6008-600 1/4 0.0148
0.0143 70.0
70.7 100.0
100.0 0.4 0.083
0.090 0.165
0.175
DD-30
6008-400 1/4 0.1185
0.1141 115.0
113.0 115.0
113.0 0.4 0.083
0.090 0.165
0.175
ED-10
6010-800 5/16 0.0037
0.0036 14.0
14.0 28.0
29.0 0.5 0.105
0.112 0.210
0.220
ED-20
6010-600 5/16 0.0296
0.0286 110.0
110.0 150.0
156.0 0.5 0.105
0.112 0.210
0.220
ED-30
6010-400 5/16 0.2367
0.2234 175.0
176.0 175.0
176.0 0.5 0.105
0.112 0.210
0.220
FD-10
6012-800 3/8 0.0065
0.0058 20.0
19.8 40.0
42.0 0.6 0.128
0.135 0.255
0.265
FD-20
6012-600 3/8 0.0482
0.0480 160.0
159.0 220.0
225.0 0.6 0.128
0.135 0.255
0.265
FD-30
6012-400 3/8 0.4002
0.3840 250.0
253.0 250.0
253.0 0.6 0.128
0.135 0.255
0.265
GD-10
6016-800 1/2 0.0148
0.0142 35.0
35.4 70.0
75.0 0.8 0.173
0.180 0.345
0.355
GD-20
6016-600 1/2 0.1185
0.1134 280.0
283.0 380.0
400.0 0.8 0.173
0.180 0.345
0.355
GD-30
6016-400 1/2 0.9486
0.9080 450.0
450.0 450.0
450.0 0.8 0.173
0.180 0.345
0.355
HD-10
6020-800 5/8 0.0296
0.0295 55.0
55.0 110.0
117.0 1 0.210
0.225 0.430
0.445
HD-20
6020-600 5/8 0.2367
0.2321 450.0
442.0 620.0
625.0 1 0.210
0.225 0.430
0.445
HD-30
6020-400 5/8 1.894
1.8500 700.0
703.0 700.0
703.0 1 0.210
0.225 0.430
0.445
ID-10
6024-800 3/4 0.0482
0.0500 80.0
78.0 160.0
169.0 1.2 0.263
0.270 0.520
0.535
ID-20
6024-600 3/4 0.4002
0.3980 630.0
636.0 900.0
900.0 1.2 0.263
0.270 0.520
0.535
ID-30
6024-400 3/4 3.261
3.1800 1000.0
1013.0 1000.0
1013.0 1.2 0.263
0.270 0.520
0.535
JD-10
6032-800 1 0.1185
0.1175 140.0
141.0 280.0
300.0 1.6 0.363
0.370 0.720
0.735
JD-20
6032-600 1 0.9486
0.9390 1100.0
1131.0 1500.0
1600.0 1.6 0.363
0.370 0.720
0.735
JD-30
6032-400 1 7.8023
7.5200 1800.0
1800.0 1800.0
1800.0 1.6 0.363
0.370
